全碳化硅高温压力传感器

项目持有人：西安交通大学
简介
本项目利用碳化硅作为传感器材料，关键环节包括传感器的结构设计、SiC的制备、SiC掺杂以及传感器芯片的封装工艺等。开发出全碳化硅高温压力传感器系列产品，量程包括MPa级、KPa级等多个量程段压力，工作温度范围-40℃-550℃，瞬态温度范围-40℃-1500℃。
技术成熟度：5级，拟融资100万元。已实现样品生产。
团队介绍：机械工程学院方续东副教授团队。方续东副教授现任微纳制造与测试技术国际合作联合实验室主任助理、中国工程院旗舰期刊Engineering机械与运载工程学科秘书、ASME、IEEE、SPE会员、中国机械工程学会高级会员。
联系电话：3993786