超净高纯电子化学品的电化学制备新技术

项目持有方：华东理工大学
●项目关键词
电子化学品、超净高纯、电化学、芯片
●项目简介：
以离子膜电解法为核心技术处理与制备超净高纯湿电子化学品，主要用于芯片的清洗和腐蚀。该制备方法1）灵活、方便、可调性强，可依据不同电子化学品的性质进行调整；2）可单独使用，也可与离子交换等方法结合使用；3）制备过程不使用其他化学品，可保持产品的高纯度。可制备的湿电子化学品的种类包括：可发生电离的有机酸、无机酸、有机碱、无机碱、盐类等。根据电子化学品的种类与要求，进行电解系统及提纯工艺的设计。实验室建立了超净电解装置、万级超净分析室和百级样品配制台。
代表性产品：
1） 柠檬酸：电子级的柠檬酸主要应用于芯片抛光后的清洗，以除去芯片表面过多的金属离子和杂质，也可以作为缓冲溶液调节芯片抛光液中pH值。当前市售柠檬酸中金属离子浓度较高，无法满足集成电路行业的要求。针对此问题，本项目对电子级柠檬酸的制备方法进行了研究，创新性地提出通过超净电解法制备电子级柠檬酸的新工艺。40%柠檬酸产品中金属离子含量低于10 ppb。
2） 四甲基氢氧化铵：季铵碱是最强的碱，电子级产品主要作为蚀刻剂和清洗剂。四甲基氢氧化铵的腐蚀能力很强，生产设备和包装都需要超净特殊材料。由于其对材料严重的腐蚀，产品中的金属离子很难采用常规方法除去。如采用离子交换树脂很难将金属离子除到100 ppb以下，而且对树脂破坏很大。另一方面，四甲基氢氧化铵热稳定性差，遇热易分解，不能采用蒸馏、亚沸蒸馏方法等通用方法纯化。电解法的特点是利用四甲基氢氧化铵的原料四甲基碳酸氢铵无腐蚀性、中性物质的特点，将四甲基碳酸氢铵提纯至电子级后在超净电解系统中电解，得到的产品中金属离子含量降到10 ppb以下，氯离子含量低于100 ppb。●技术所属领域：化工、微电子
●项目成熟度：
■实验室    ■中试阶段    □小规模试用     □成熟应用
●知识产权情况：
■发明专利       □实用新型专利     □专有技术
●合作方式：
■转让     ■许可     ■合作开发     ■技术入股
□其它（请注明：_______________________________）
●可应用国民经济行业：
制造业：专用设备制造业；计算机、通信和其他电子设备制造业
联系方式： 0553—3993786